MEMS, neboli mikro-elektronicko-mechanické systémy jsou integrované systémy kombinující v mikro-měřítku jak elektrické tak i mechanické komponenty. Největší z nich jsou pouze několik milimetrů velké. Jejich výroba je založena na využití technologií vyvinutých pro výrobu integrovaných obvodů. Výroba mechanických zařízení představuje obecně složitější procesy než výroba zařízení elektrických. Integrace obou typů zařízení na jedné a téže desce pak vyžaduje mnoho vývojového úsilí. Protože MEMS jsou relativně nová oblast výzkumu a vývoje, poskytují veliký prostor pro kreativitu. Zařízená založená na MEMS lze využít současně jako miniaturní čidla, řídící prvky nebo pohonné jednotky. Dosud však existuje velmi málo skutečně úspěšných komerčních aplikací. Z těch skutečně využívaných lze uvést tlakové senzory a nárazové detektory (využívané např. u air-bagů). Avšak mnoho různých MEMS zamýšlených pro komerční využití je již ve vývoji, např.: tlakové, chemické a pohybové senzory, detektory toku kapalin a plynů, kapalinové mikropumpy a ventily, mikrooptická zařízení : optické skenery a zrcadlové soustavy.
Jaké jsou vlastně výhody MEMS ve srovnání se současnými zařízeními, které plní stejné funkce ? Je jich mnoho : MEMS jsou tak malé, že se jich vejdou stovky do stejného prostoru, který zaujímá makrozařízení plnící stejnou funkci, obslužné elektronické prvky nejsou zapotřebí, neboť jsou přímo součástí MEMS; tato integrace má rovněž tu výhodu, že generuje méně elektrického šumu a tím zvyšuje citlivost senzorů, s využitím technologií výroby integrovaných obvodů je možno vyrobit stovky až tisíce MEMS na jedné desce; tato masová produkce výrazně snižuje cenu řídících prvků ve srovnání s jejich makroskopickými analogy. MEMS se jeví pro mnoho aplikací perspektivní technologií budoucnosti, možná již téměř technologií dneška.
