Technologie leptání, kterou vyvinuli pracovníci Fraunhofer-Institut für Mikroelektronische Schaltungen und Systeme IMS v německém Duisburgu pod vedením Dr. Marco Russe, by mohla přispět k většímu rozšíření infračervených kamer, které se dosavadními postupy vyrábějí obtížně. Při výrobě různých senzorů integrovaných přímo do elektronických čipů, se zpravidla neobejdeme bez leptání ve vodném roztoku. Velkým problém v tak malém měřítku představují kapilární síly. Leptáním pomocí reaktivních plynů lze dosáhnout levněji téhož výsledku. Fluorovodík HF rozpouští hlavně oxid křemičitý, zatímco s křemíkem nereaguje. U fluoridu xenonatého XeF2 je to právě naopak.
Leptání plyny
4.7.2011
